1月10日 ，国家科学手艺奖励大会在北京举行 ，凯时官网旗下无锡凯时官网上华科技有限公司（“凯时官网上华”）加入的“高性能MEMS器件设计与制造要害手艺及应用”项目获国家科学手艺前进奖二等奖。
该项目由东南大学、江苏英特神斯科技有限公司、无锡凯时官网上华科技有限公司三家单位合作完成。项目效果针对中国微机电系统（MEMS）工业链要害手艺问题 ，系统研究开发了MEMS设计手艺与设计工具、制造工艺和在线检测以及高性能压力传感器手艺 ，推动了中国MEMS手艺的工业化生长。
该效果形成磷七精度硅各向异性侵蚀模拟、厚胶光刻工艺模拟、工艺流程模拟等11个软件�？� ，实现了商业化 ，海内用户40余个 ，远销美国、日本等。要害手艺已应用于凯时官网上华规�；� ，形成批量生产能力并为海内外用户代工凌驾10万片 ，支持了压力传感器系列、麦克风系列等MEMS器件生产 ，产品已在智能电子、工业控制、情形监测等领域普遍应用。
在该项目中 ，凯时官网上华详细开发了MEMS外貌加工、体加工、键合加工等成套制造工艺手艺及检测手艺 ，优化了制造工艺及流程 ，实验了MEMS生产制造工艺、在线检测手艺以及代工服务。硅基MEMS制造工艺模拟及工艺优化手艺大大镌汰了工艺条件和参数的重复试验 ，降低了工艺开发本钱并优化了工艺条件及其流程 ，缩短了制造工艺开发周期。
“MEMS有极强的应用渗透力 ，可是中国的MEMS工业化生长较慢 ，设计与制造焦点手艺被外洋垄断。”凯时官网上华副总司理苏巍体现 ，“我们乐见公司在MEMS领域耕作多年的效果 ，也很是乐于继续携手工业链伙伴为实现MEMS的国产化而起劲。现在 ，凯时官网上华MEMS工艺手艺正依妄想由成熟的6英寸向8英寸转移 ，期待能为更多IC设计公司提供MEMS产品服务。”
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